实时•全面•专业

Prompt•Overall•Professional

技术突破

战略动态 > 技术突破

日本东芝开发兼具快速检测和低耗电性能的氢气传感器

2017-06-21 254浏览 标签: 氢气

2017年6月20日,日本株式会社东芝(以下简称“东芝”)宣布成功开发出一种氢气传感器,可在不降低检测速度的前提下,将耗电降低到之前的约1/100以下。

为了防止地球持续变暖,目前全球都在加紧开发能够实现氢社会的技术。然而,氢气作为一种可燃气体,为了保证其使用时的安全,必须在发生泄漏时及时快速地检测到,为此目前非常需要能够快速检测的氢气传感器。另外,虽然氢气传感器靠电池驱动可以方便其安装在各种场合使用,但是要依靠电池电力随时进行氢气检测,必须要尽量降低氢气传感器的耗电。然而,由于传统的氢气传感器在进行感应时往往需要通过加热器进行加热,所以其耗电大(数十毫瓦~数瓦)一直是个亟待解决的问题。若想提升传感器的检测速度,则需要频繁地加热,因此,传感器的检测速度和耗电性能之间其实存在一种此消彼长的权衡(trade-off)关系。

为此,东芝应用其在半导体领域中培养的加工技术,开发了一种其独有的、在传感器薄膜上使用钯类金属玻璃的MEMS结构,成功使传感器兼具了快速检测和低耗电特性。东芝此次开发的氢气传感器中使用了无需一直加热便可检测氢气的、低耗电、容量型MEMS结构,因此可以在之前约1/100的耗电量——100μW级别下进行工作。另外,该传感器还可在半导体生产线上进行生产,所以能够实现低成本量产。

东芝表示,他们今后将继续以此次成果为基础,进一步优化传感器的结构和生产工艺,争取在2020年以后燃料电池汽车(FCV)和加氢站等氢市场扩大时实现实际应用。

留言(0)